無塵車間對溫濕度的控制決取于其生產(chǎn)工藝。在滿足加工工藝的條件下，還應(yīng)該考慮到人的舒適感。因?yàn)槿顺龊挂院?，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時(shí)易生銹。我們來看常見無塵車間對溫濕度有要求的工藝和無塵車間壓差的控制方法。

　　示例 一：電子行業(yè)

　　在電子行業(yè)制造車間是最重要產(chǎn)生靜電的地方，通常靜電會對產(chǎn)品造成短路甚至?xí)斐蓡T工導(dǎo)電暈倒事故，所以電子行業(yè)的無塵車間相對濕度不應(yīng)低于30%，這樣即可以減少靜電的產(chǎn)生，通常建議無塵車間的防靜電區(qū)域相對濕度不低于50%。過于干燥的空氣中易粉塵飛揚(yáng)，電子廠無塵車間無特殊要求的情況下，溫度控制在22 ℃ 左右，相對濕度控制在 55 ～ 60%RH 之間，在這種環(huán)境下，人們感覺舒適，靜電也消失了。

　　示例 二 精密機(jī)械加工行業(yè)

　　在精密機(jī)械加工和計(jì)量等場合，為了防止因熱膨脹而引起的誤差，必須使工件保持一定的溫度。工件溫度的允許波動幅度應(yīng)根據(jù)加工精度決定。例如，在恒溫室里對一根長500mm的標(biāo)準(zhǔn)尺刻線，工藝允許線間公差為2um，其中l(wèi)um為尺溫變化所引起的形變誤差，另1um為加工與量測誤差。1um折合尺溫變化量=0.20C[a為尺線膨脹系數(shù)，取10/um/(m?K);l為尺長，m]，故工件溫度變化需在：以內(nèi)。但由于工件測量儀器等都有一定的熱惰性，空氣溫度的波動傳人工件后，就要衰減。在設(shè)計(jì)恒溫系統(tǒng)時(shí)，一般總是以恒定環(huán)境空氣溫度為依據(jù)，故相應(yīng)的環(huán)境溫度精度可比工件允許的溫度精度低一些。因此，在確定恒溫室參數(shù)和選擇自動控制時(shí)，必須考慮工件恒溫恒濕車間、圍護(hù)結(jié)構(gòu)、空氣處理設(shè)備和自控系統(tǒng)之間的動態(tài)特性。

　　示例 三 SMT

　　SMT車間對溫度和濕度有明確的要求，首先主要是為了錫膏能工作在一個(gè)較好的環(huán)境 ，溫度會影響錫膏的活性，對于里面所添加的助焊劑的相關(guān)溶劑的活性有一定的影響。溫度高會增加其的活性，最終影響絲印貼裝及回流的效果。容易出現(xiàn)虛焊，焊點(diǎn)不光澤等現(xiàn)象。濕度的大小回引起錫膏在空氣中吸入水氣的多少，如過吸如過多水氣，會使回流時(shí)產(chǎn)生氣空，飛漸，連焊等現(xiàn)象。故SMT恒溫恒濕車間溫濕度標(biāo)準(zhǔn): 溫 度: 24±2℃ 濕 度: 50±10%。

　　所以無塵車間的溫濕度控制由其生產(chǎn)工藝決定，但其精度同時(shí)也要看其房間的大小例如計(jì)量室、光柵刻線室、精密儀器制造和裝配車間等。前兩者都為小房間，空調(diào)精度(這里主要指溫濕度)要求高;后兩者為較大的生產(chǎn)車間，溫濕精度要求較低。所以其房間大小也會決定恒溫恒濕車間的精度。

　　一、無塵車間壓差控制在無塵車間中是一個(gè)非常重要的環(huán)節(jié)

　　只有通過對凈化區(qū)域的壓差進(jìn)行控制，保證合理的氣流組織，才能達(dá)到凈化和工藝的要求。例如潔凈廠房必須保持一定的正壓使外界未經(jīng)凈化的空氣不會進(jìn)人凈化區(qū)域，保證潔凈級別;并且通過對各凈化區(qū)域的不同的壓差控制，達(dá)到凈化分區(qū)的作用，在GMP中就要求不同凈化級別區(qū)域的壓差應(yīng)得到控制不小于+5Pa。

　　壓差的實(shí)質(zhì)是：新風(fēng)量與排風(fēng)量+壓差風(fēng)量之間的平衡直流系統(tǒng)：新風(fēng)量=排風(fēng)量+壓差風(fēng)量循環(huán)系統(tǒng)：新風(fēng)量+回風(fēng)量=回風(fēng)量+排風(fēng)量+壓差風(fēng)量本質(zhì)是：新風(fēng)量=排風(fēng)量+壓差風(fēng)量因此，無塵車間壓差建立的調(diào)整,都應(yīng)體現(xiàn)新風(fēng)量與排風(fēng)量+壓差風(fēng)量之間的平衡。

　　(1)對直流系統(tǒng)，送入一定的風(fēng)量，調(diào)節(jié)排風(fēng)量至壓差值的建立。

　　(2)對循環(huán)系統(tǒng)，送入一定的風(fēng)量，一般可按要求調(diào)整排風(fēng)量，然后調(diào)節(jié)回風(fēng)量，建立壓差值。

　　(3)當(dāng)某些無塵車間無排風(fēng)時(shí)，則調(diào)節(jié)風(fēng)量至壓差值的建立。

　　無塵車間送入風(fēng)量要求一定，因此不能作為控制的變量。

　　1、引起無塵車間壓差波動的外擾因素及常用的基本對策如下

　　(1)HVAC系統(tǒng)阻力變化，主要是過濾器阻力的變化，會引起送風(fēng)量的變化，影響室內(nèi)壓差的波動。對其控制較易，只要運(yùn)行到一定時(shí)期后系統(tǒng)阻力變化至一定值時(shí)，人工及時(shí)調(diào)整便可。亦常用在定風(fēng)量閥控制壓差時(shí)，能自動維持送風(fēng)量不變，亦有采用變速的送風(fēng)機(jī)，以過濾器壓差進(jìn)行風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速控制，維持風(fēng)量一定。

　　(2)室外風(fēng)壓的變化(室外風(fēng)向及風(fēng)速等引起)，會影響無塵車間的壓差風(fēng)量，引起室內(nèi)壓差的波動。對其控制也較容易。要求：圍護(hù)結(jié)構(gòu)及門的氣密性好，無塵車間對室外保持≥10Pa壓差，相鄰無塵車間保持≥5Pa壓差，當(dāng)室外風(fēng)壓對潔凈不利時(shí)，尚能維持無塵車間內(nèi)的一定壓差而不致出現(xiàn)問題。

　　(3)無塵車間門的啟、閉，會引起無塵車間壓差的波動。門開啟時(shí)，兩無塵車間的壓差不能維持，空氣會雙向交換，其交換量與兩室間的空氣溫差有關(guān)，亦與人的走動有關(guān)，國外有研究認(rèn)為在Δt=0℃，雙門的空氣交換量約為0.19m3/s;Δt=2℃,則達(dá)0.24m3/s。為防止反向流的出現(xiàn)，則流經(jīng)門的空氣速度應(yīng)大于0.2m/s(ISO 14644-4中提及的維持低壓差時(shí)所需的氣流速度);在工程中，國外常采用0.25m/s~ 0.5m/s的氣流速度。

　　對其控制較不容易，需采用閉環(huán)控制。在采用定量控制時(shí)，須設(shè)置緩沖室或氣閘。

　　(4)無塵車間工藝排風(fēng)的變化必然帶來壓差的波動，而排風(fēng)量的變化有時(shí)是較大的，此時(shí)為不使室內(nèi)壓差波動，不使引起反向流，需要采用閉環(huán)控制。

　　(5)HVAC系統(tǒng)的啟停以及生物無塵車間薰、蒸、消毒、滅菌所需風(fēng)閥操作必然引室壓的波動，但這都是在非正常運(yùn)行過程中暫時(shí)出現(xiàn)的，對正常運(yùn)行并無影響，因此需要在系統(tǒng)的風(fēng)機(jī)、閥門等運(yùn)行的聯(lián)鎖及閥門操作等作規(guī)定外，無需在壓差控制系統(tǒng)上作考慮。

　　無塵車間的壓差控制方式及其系統(tǒng)的選擇應(yīng)與要求相適應(yīng)。常用的無塵車間壓差控制方式基本有兩類。一類是所謂的靜態(tài)控制，即定風(fēng)量控制，另一類是以“直接壓力”控制的閉環(huán)控制系統(tǒng)以及余壓閥控制。

　　2、閉環(huán)控制方式

　　當(dāng)前工業(yè)無塵車間的閉環(huán)控制，常采用“直接壓力”控制，即以室內(nèi)壓差的維持控制新風(fēng)或回風(fēng)或排風(fēng)作為變量。

　　閉環(huán)控制可以應(yīng)對：

　　(1)由排風(fēng)變化引起的壓力波動。

　　(2)由于門開著引起的反向流。

　　(3)以及室外風(fēng)壓并系統(tǒng)阻力引起的壓力波動。

　　主要是控制不出現(xiàn)反向流，但對壓力波動會有一定范圍，這對無塵車間已能滿足要求。此控制方式目前常多用于排風(fēng)變化的無塵車間以及門啟閉頻繁不宜設(shè)緩沖室或氣閘的無塵車間。

　　常用控制系統(tǒng)：

　　(1)以室內(nèi)正壓的維持控制新風(fēng)作為變量

　　適用于一個(gè)HVAC系統(tǒng)對一個(gè)無塵車間的情況，控制較直接，當(dāng)有采用新風(fēng)機(jī)組時(shí)，一般宜采用變速風(fēng)機(jī)以實(shí)現(xiàn)節(jié)能，尤其是新風(fēng)量變化較大時(shí)，對循環(huán)風(fēng)機(jī)一般可以定風(fēng)量運(yùn)行，不作自動調(diào)節(jié)。當(dāng)前電子工業(yè)、半導(dǎo)體、集成電路工廠較多的采用這種控制系統(tǒng)。

　　(2)以室內(nèi)壓差的維持控制回風(fēng)作變量

　　此種系統(tǒng)一般多適用于一個(gè)HVAC系統(tǒng)對多個(gè)無塵車間的情況，由于風(fēng)管布置及接管等情況，控制回風(fēng)較控制新風(fēng)更易合理實(shí)現(xiàn)。一般情況下，送、回風(fēng)機(jī)或單風(fēng)機(jī)可不作自動調(diào)節(jié)，新風(fēng)由系統(tǒng)靜壓及風(fēng)機(jī)特性自行平衡風(fēng)量，當(dāng)然必要時(shí)，采用自動調(diào)節(jié)閥及風(fēng)機(jī)風(fēng)量，壓差可更穩(wěn)定。

　　(3)以室內(nèi)壓差的維持控制排風(fēng)作變量

　　此種系統(tǒng)較多的用于排風(fēng)量不變，而對門開啟頻繁為防止門開啟時(shí)出現(xiàn)的反向流的控制。特點(diǎn)是送、回風(fēng)系統(tǒng)可以是定風(fēng)量運(yùn)行，一般可不設(shè)自動調(diào)節(jié)風(fēng)機(jī)風(fēng)量的裝置;排風(fēng)風(fēng)機(jī)則視情況宜采用變速風(fēng)機(jī)以節(jié)能。

　　(4)獨(dú)立正壓送風(fēng)壓差控制系統(tǒng)

　　正壓送風(fēng)系統(tǒng)用于手術(shù)室的壓差控制，正壓新風(fēng)采用二級過濾后通過調(diào)節(jié)閥送入各無塵車間，調(diào)節(jié)閥由室內(nèi)壓差的維持，調(diào)節(jié)送入的正壓風(fēng)量。此系統(tǒng)的正壓風(fēng)量完全獨(dú)立于HVAC系統(tǒng)的風(fēng)量，易于控制，尤其是對不工作的手術(shù)室，只要送入所需壓差風(fēng)量的正壓新風(fēng)外，HVAC系統(tǒng)可不工作。獨(dú)立正壓風(fēng)機(jī)宜采用變速風(fēng)機(jī)以達(dá)節(jié)能的目的。

　　3、定風(fēng)量控制方式

　　3.1、特點(diǎn)及采用要求

　　其特點(diǎn)是：在無塵車間門關(guān)閉的情況下，使送風(fēng)(新風(fēng)+回風(fēng))=回風(fēng)+排風(fēng)+壓差風(fēng)量，建立壓差值;除壓差風(fēng)量外，其余各風(fēng)量都維持一定。

　　采用前提是：

　　(1)排風(fēng)量要求一定，或至少一段時(shí)期內(nèi)是一定的，以后變化時(shí)重新調(diào)整。

　　(2)圍護(hù)結(jié)構(gòu)及門要求氣密性好。

　　(3)采用緩沖室或氣閘，必要時(shí)增加其換氣次數(shù)，使氣閘較快恢復(fù)并保持其要求的潔凈度。它對門開啟時(shí)不能保證無反流。

　　3.2、定風(fēng)量控制系統(tǒng)

　　(1)手動控制

　　人工調(diào)整好壓差值后，鎖定送、回、排等風(fēng)閥，當(dāng)系統(tǒng)阻力變化時(shí)需再重新調(diào)整之。常多用于制藥廠有關(guān)無塵車間。

　　(2)定風(fēng)量閥控制

　　是在無塵車間的送風(fēng)管、回風(fēng)管及排風(fēng)管上各設(shè)定風(fēng)量閥，亦有只在送風(fēng)管、排風(fēng)管上設(shè)置，而回風(fēng)管上不設(shè)，當(dāng)然以前者為好，但投資更大些。定風(fēng)量閥為以彈簧及閥體等組成的機(jī)械，能對風(fēng)管內(nèi)靜壓力的變化由彈簧帶動閥體位移進(jìn)行補(bǔ)償，使風(fēng)量維持一定，它對HVAC系統(tǒng)的阻力變化時(shí)能自動維持送入風(fēng)量一定，且風(fēng)量控制較準(zhǔn)確。目前在隔離病房、手術(shù)室、實(shí)驗(yàn)室等用得較多。

　　3.3、定風(fēng)量控制方式的節(jié)能措施

　　(1)為節(jié)能定風(fēng)量閥可以采用雙穩(wěn)態(tài)的，即無塵車間在工作時(shí)采用額定風(fēng)量運(yùn)行，在不工作時(shí)，采用低風(fēng)量運(yùn)行以節(jié)能，風(fēng)機(jī)可采用雙速或變頻變速風(fēng)機(jī)。雙穩(wěn)態(tài)的設(shè)定可以是人工(值班者)設(shè)定，亦可以是燈光控制，常在手術(shù)室及某些實(shí)驗(yàn)室中采用。

　　(2)為節(jié)能當(dāng)前某些制藥廠亦有采用回風(fēng)與局部排風(fēng)閥關(guān)閉，此時(shí)聯(lián)動回風(fēng)閥開啟，以等同的風(fēng)量進(jìn)行聯(lián)鎖倒換，以保持室內(nèi)壓差。此時(shí)，宜采用回風(fēng)風(fēng)機(jī)并是變速的，排風(fēng)機(jī)亦宜是變速的，都可以以各自風(fēng)管的靜壓來控制風(fēng)機(jī)的轉(zhuǎn)速。

　　3.4、定風(fēng)量控制的壓差風(fēng)量確定

　　定風(fēng)量控制時(shí)，壓差風(fēng)量與建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)及門等的氣密性有關(guān)。

　　4、無塵車間壓差控制方式及其系統(tǒng)的選擇應(yīng)與要求相適應(yīng)

　　當(dāng)前對工業(yè)無塵車間以及一般(+)壓生物無塵車間而言，視要求采用定風(fēng)量控制及閉環(huán)控制系統(tǒng)。其閉環(huán)控制系統(tǒng)一般采用“直接壓力”控制。其HVAC系統(tǒng)的送、回風(fēng)機(jī)或單風(fēng)機(jī)的風(fēng)量匹配調(diào)節(jié)的措施為：

　　(1)對定風(fēng)量控制系統(tǒng)，基本都采用手動風(fēng)閥調(diào)節(jié)。

　　(2)對閉環(huán)控制系統(tǒng)，一般亦采用手動調(diào)節(jié)，利用系統(tǒng)靜壓及風(fēng)機(jī)特性的自平衡而不設(shè)自動風(fēng)量調(diào)節(jié)裝置。

　　(3)風(fēng)量變化大以及要求高的，亦有采用以靜壓控制相應(yīng)風(fēng)閥進(jìn)行匹配聯(lián)動的自動調(diào)節(jié)或以流量追蹤控制進(jìn)行風(fēng)量調(diào)節(jié)等，但一般采用不多。

　　5、余壓閥控制

　　余壓閥安裝簡單，價(jià)格低廉，控制的靈敏度也可以。但缺點(diǎn)是：長期使用后關(guān)閉會不嚴(yán);破壞室內(nèi)平潔、光滑表面，多一個(gè)積塵處。使用時(shí)按HVAC系統(tǒng)可能相當(dāng)于以室壓維持控制風(fēng)量或回風(fēng)量，在控制回風(fēng)時(shí)一般常以走廊作為回風(fēng)道，要注意交叉污染。

　　二、各行業(yè)無塵車間的溫度濕度標(biāo)準(zhǔn)大全：

　　無塵車間空氣凈化工程之應(yīng)用行業(yè)與標(biāo)準(zhǔn)：

　        無塵車間應(yīng)用行業(yè)溫度(℃)，濕度(RH%)；要求潔凈要求(級)，認(rèn)證生產(chǎn) (可調(diào))測試，實(shí)驗(yàn) (可調(diào))生產(chǎn)測試或?qū)嶒?yàn)；是否需要GMP

　　1、光學(xué)/微電子/電子行業(yè) ，溫度:20-26， 濕度:50-75；溫度:12-23 ，濕度:40-85；1-30萬級，百級-十萬級；否

　　2、LED/液晶/線路板行業(yè)溫度：20-26 濕度：，50-70；溫度：12-23 ，濕度：40-85；1-30萬級，百級-十萬級；否

　　3、食品/飲料行業(yè)：溫度6-26 ，濕度:50-76；溫度:-5--23， 濕度:40-85；1-10萬級，百級-十萬級；部分行業(yè)需要

　　4、化妝品/日化行業(yè)：溫度20-26，濕度：50-71；溫度:12-23 濕度:20-86；百級-十萬級，百級-十萬級；否

　　5、光伏新能源行業(yè)：溫度20-26，濕度:50-77；溫度：12-23 濕度：40-85；1-30萬級，百級-十萬級；否

　　6、汽車/航空/精密加行業(yè)：溫度20-26，濕度：50-72；溫度:12-23 ，濕度:40-85；1-30萬級，百級-十萬級；否

　　7、塑膠/化工/精細(xì)化工行業(yè)：溫度12-26，濕度:50-78；溫度:-12--23， 濕度:20-85；1-30萬級，百級-十萬級；否

　　8、塑料/電鍍行業(yè)：溫度20-26，濕度：50-73；溫度：12-23，濕度：40-85；1-30萬級，百級-十萬級；否

　　9、保健品/制藥行業(yè)：溫度12-26，濕度:50-79；溫度:-12--23，濕度:20-85；百級-十萬級，百級-十萬級；是

　　10、醫(yī)療器械行業(yè)：溫度20-26， 濕度：50-74；溫度:12-23，濕度:40-85；百級-十萬級，百級-十萬級；是

　　11、醫(yī)院手術(shù)室行業(yè)：溫度18-26， 濕度:50-80；溫度：12-23， 濕度：40-85；百級-十萬級，百級-十萬級；否

　　12、生物制藥行業(yè)：溫度6-26， 濕度：50-75；溫度:-12--23， 濕度:20-85；百級-十萬級，百級-十萬級；是

　　相比之下，實(shí)驗(yàn)室、生物安全實(shí)驗(yàn)室等直流系統(tǒng)的負(fù)壓控制系統(tǒng)，在當(dāng)前為節(jié)能需進(jìn)行變風(fēng)量控制時(shí)，往往要求更較可靠、靈敏及快速響應(yīng)的控制系統(tǒng)，如采用變風(fēng)量文丘里控制閥以及相應(yīng)的流量追蹤與“直接壓力”控制相結(jié)合的集成系統(tǒng)，以保安全。